Les pompes à palettes lubrifiées génèrent du Vide par la rotation d'un rotor excentré dans lequel des palettes coulissent en créant une chambre où un volume d'air est aspiré puis refoulé à la pression atmosphérique. Le film d'huile crée une pellicule étanche dans le bloc pompe, permettant d'atteindre des niveaux de Vide proche du mbar abs pour les versions mono-étagées. le mélange air/huile est séparé à l'échappement, l'huile étant ré-aspirée par la pompe via un filtre à huile en circuit fermé. Des filtres déshuileurs à l'échappement absorbent les brouillards d'huile afin de contenir la pollution externe.
Une soupape de sécurité et un filtre d'aspiration seront nécessaires pour protéger la machine.